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场发射扫描电子显微镜主要用途

日期:2024-05-08 10:52
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摘要:
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       场发射扫描电子显微镜主要用途: 该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。
  仪器类别: 03040702 /仪器仪表/光学仪器 /电子光学及离子光学仪器
  指标信息: 二次电子象分辨率:1.5nm 加速电压:0~30kV 放大倍数:10-50万倍连续可调工作距离:5~35mm连续可调倾斜:-5°~45° x射线能谱仪: 分辨率:133eV 分析范围:B-U
  附件信息: 镀金镀炭仪 ISIS图像处理系统背散射探头
  场发射扫描电镜,由于分辨率高,为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。另外,对半导体材料和绝缘体,都能得到满意的图像,对超导薄膜,磁性材料,分子束外延生长的薄膜材料,半导体材料进行了形貌观察,并对多种材料进行了微区成份分析,均能得到满意的结果

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